安集科技申请一种用于化学抛光系统的混液装置及一种化学抛光系统专利，在保证抛光垫清洗效果的同时实现更加宽泛的兼容度
作者：147小编
更新时间：2024-11-23
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本文源自:金融界
金融界2024年7月2日消息，天眼查知识产权信息显示，安集微电子科技（上海）股份有限公司申请一项名为“一种用于化学抛光系统的混液装置及一种化学抛光系统“，公开号CN202211718709.6，申请日期为2022年12月。
专利摘要显示，本发明提供了一种用于化学抛光系统的中的微型混液装置，包括：流量控制器，微型混液器和管路，所述流量控制器通过所述管路与所述微型混液器相连，所述流量控制器用于控制液体进入所述微型混液器的流量，所述微型混液器用于混合液体。采用上述技术方案后，通过混液装置实现实时改变清洗剂的浓度，在保证抛光垫清洗效果的同时实现更加宽泛的兼容度，适应不同的生产需求。